用語解説

六ふっ化硫黄（SF₆）

京都議定書の対象ガスの一つ。融点−50.7℃、昇華点−63℃で、1個の硫黄原子（S）と6個のふっ素原子からなる無色無臭の気体。熱的、化学的に安定で、耐熱性、不燃性、非腐食性に優れているため、変圧器などに封入される電気絶縁ガスとして使用されるほか、半導体や液晶の製造工程でも使われている。100年間の温室効果の強さは二酸化炭素の約23,900倍。